Microscopia eletrônica: varredura e transmissão - MEV e MET

As técnicas de Microscopia Eletrônica de Transmissão (MET) e Varredura (MEV) utilizam um feixe de elétrons como fonte de “iluminação” sobre uma amostra a ser observada, ao invés de luz visível onde é possível a obtenção de imagens com resoluções espaciais da ordem de centenas a milhares de vezes. Esta incidência de elétrons produz diversas interações passíveis de serem coletadas fazendo estas técnicas irem muito além da simples obtenção de imagens. Instrumentos de microscopia eletrônica modernos oferecem um grau detalhado de caracterizações estruturais, espectroscópicas, composicionais e cristalográficas, em diferentes materiais tais como metais, ligas metálicas, cerâmicas, semicondutores, vidros, polímeros, madeira, têxteis, concreto, amostras biológicas, etc.

Na técnica de MET, o feixe de elétrons interage com uma amostra suficientemente fina à medida que a atravessa. A amostra é disposta entre a fonte de elétrons e um anteparo, onde a imagem ampliada é formada pelo impacto dos elétrons transmitidos e difratados. A imagem gerada é uma projeção bidimensional da amostra, em campo claro ou escuro, ou ainda de difração de elétrons, dependendo do modo de operação do equipamento. Já na técnica de MEV, ocorre a irradiação da superfície da amostra, onde os sinais elétricos produzidos são traduzidos na forma de imagem.

Em ambos os casos (MET e MEV) a coleta dos raios X característicos pode ser empregada para se estudar sua composição elementar através do mapeamento composicional e semi quantitativo - EDS. A Central Analítica dispõe de dois equipamentos de MEV e um de MET e uma evaporadora por “DC Magnetron Sputtering” para recobrimento de amostras com ouro ou carbono.

MEV FESEM JEOL JSM-7401F
Bloco 3 inferior
Canhão de emissão de campo
Tensão de aceleração: 30,0 kV a 0,1 kV
Resolução: 1,0 nm (15 kV) ; 1,5 nm (1 kV)
Magnificação máxima: ×1.000.000

 

MEV JEOL Neoscope JCM-5000
Bloco 3 inferior
Canhão com filamento de tungstênio convencional
Tensões de aceleração fixas: 15 – 10 – 5 kV
Magnificação máxima: ×40.000
Observação em alto e baixo vácuo (30 Pa)

 

MET JEOL JEM 2100
Bloco 3 inferior
Canhão com filamento LaB6
Tensão de aceleração máxima: 200 kV
Resolução: 0,23 nm (ponto) ; 0,14 nm (rede)
Magnificação máxima: ×1.500.000
Imagem de transmissão por varredura (STEM)
Detector HAADF (“High Angle Annular Dark Field”)